关于 气体质量流量计 M2030V的详细介绍

韩国原装进口数字式、高精度气体质量流量计/气体质量流量控制器，使用特别的热传感器和控制电路提高计算精度。 广泛应用于半导体工业和其他行业，产品设计坚固、耐用，且经济。 应用： 所有工业，气体混合及分析，半导体工业，注气、表面加工行业（PVC,CVD,反应器等） ， 部件泄露检测，产品研究和开发，高压行业，光纤，燃料电池，反应器系统，气体的混合系统。 优势： 测量质量流量 不需要温度、压力补偿 紧凑的流量控制系统 高精度（±0.7%F.S） 耐高压（95公斤） 快速响应时间（＜1秒） 高重复性（±0.25%F.S) 数字通信：RS-485 规格： 型号 M2030V/A 流量范围（N2) 0.01~30 slpm 响应时间 ＜2秒 精确度 ±1% 重复精度 ±0.25% 输入输出信号 0~5Vdc or 4~20mA 供电 +15Vdc or +24Vdc,350mA 最大工作压力 5~1300 psia 最大工作温度 0~50℃ 漏率 1×10-9atm.cc/sec 控制范围 2~100%